- сорбционно-ионный насос
- Engineering: sputter-ion pump
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
ВАКУУМНЫЙ НАСОС — устройство для удаления газов и паров из замкнутого объёма с целью получения вакуума. В. н. делятся на проточные, к рые удаляют газ из откачиваемого объёма наружу, и сорбционные, связывающие газ внутри насоса. Существуют также спец.… … Физическая энциклопедия
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА — получение, измерение и применение давлений порядка тысячной нормального атмосферного давления и более низких. Вакуумная техника, методы которой когда то не выходили за пределы научной лаборатории, в настоящее время применяется во многих отраслях… … Энциклопедия Кольера